儀器資訊丨108 Auto Sputter Coater 108A 小型離子濺射儀
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? 108A 小型離子濺射儀
108A 小型離子濺射儀是較為常用的樣品導電預處理設備,主要應用于掃描電子顯微(SEM)和X射線微觀分析等儀器的樣品前處理階段。其工作原理是在真空條件下,用高速離子轟擊靶材,使靶材原子濺射出來,遷移到樣品表面形成鍍膜,以增加樣品的導電性。在實際應用中,可根據不同的樣品特性和觀察目的來選配不同材質的靶材。
? 產品特性
1、提供“自動”和“手動”兩種操作模式。2、可以通過參數控制或膜厚監(jiān)控儀(選配)來實現鍍膜的可重復性。3、可根據成膜速率和真空度調控工作電流,以獲得高質量鍍膜效果。4、采用直流磁控管“低壓低溫”濺射,減少對試樣的熱影響。5、結構設計合理,可快速更換濺射靶材。?產品參數
技術參數表 | |
腔體尺寸 | 120mm OD×120mm height(4.75x 4.75") |
靶材 | 標配Au 選配Au:Pd, Pt, Pt:Pd 規(guī)格57mm dia×0.1mm thick |
樣品臺 | 12 孔SEM 釘型樣品臺支架 高度60mm可調 |
真空度 | 大氣壓 - 0.001mb |
工作電壓 | 200-240V, 50Hz |
工作功率 | 300W |
? MTM-10高分辨膜厚檢控儀 ( 選配 )
該產品是通過收集頂部石英晶體的振蕩頻率的變化信號來檢測濺射膜厚。分辨率為0.5nm。可原位量化濺射膜厚,便于實現鍍膜的可重復性。
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