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儀器資訊丨108C 真空鍍碳儀 Carbon Coater 108c/Auto

發(fā)布日期:2020-08-11 瀏覽數(shù):6998

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108C 真空鍍碳儀

108C真空鍍碳儀主要適用于掃描電子顯微( SEM )和電子探針等分析表征設(shè)備樣品鍍碳處理。程序化的蒸發(fā)反饋控制技術(shù)保證了成膜質(zhì)量。同時,該產(chǎn)品結(jié)構(gòu)合理緊湊,易于操作,抽放氣周期較快。


?  產(chǎn)品特性

1、電流、電壓檢測器和先進(jìn)的反饋控制技術(shù)使得鍍碳過程穩(wěn)定、高效。

2、脈沖、連續(xù)模式隨意切換。

3、提供“手動”和“自動”兩種模式。


?產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)

腔體尺寸

Ф150mm×H165mm

蒸發(fā)源

Ф6.15mm高純碳棒

樣品臺

12插孔,高度30mm可調(diào)真

空度大氣

-0.01mb

工作電流

0-200A

108系列真空泵技術(shù)參數(shù)表

配置構(gòu)型

高速;直接驅(qū)動;兩級

轉(zhuǎn)速

2.5m3/hr@ 50Hz

極限真空

6×10-3 mbar

額定功率

150 W @ 50 Hz

法蘭連接

NW/KF 16 (Intake and Exhaust)

填充油量

0.4 ltr

泵油類型

Pfeiffer P3

額定電壓

220-240V (specify on order)


?  MTM-10高分辨膜厚檢控儀 ( 選配 )


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